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研究领域
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双台面工艺
SiGe/SiHBT
磁控溅射
电子束蒸发
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反射率
垂直腔面发射激光器
SiO2
SiSiGe异质结双极晶体管
梳状结构
分布式布喇格分射镜
离子注入
隧道再生
所属机构
北京工业大学电子工程学系
北京市光电子技术实验室
北京工业大学电子信息与控制工程学院
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