高谷松文 吴汉华 顾长志 牟宗信 邹广田 田宏伟 李哲奎 坂本幸弘 于三 郑伟涛 白媛 汪剑波 姜志刚 金文成 黄甫萍 董闯 吕宪义 于狭升 方容川 庄荣书 王翠 朱宰万 白晓明 张纪法 郑冰 龙北红 韩雪梅 吕天山 王欣 李全军

抗辐射 丙酮 CNx膜 钛 微弧氧化 钽 热灯丝化学气相沉积方法 成核密度 BN薄膜 等离子体化学气相沉积 N离子注入 化学气相沉积 准分子激光沉积 金刚石薄膜 热阴极 超导电性 粗糙度 退火温度 表面形貌 生长速率 场发射 半导体列阵激光器 晶粒尺寸 辉光放电 热导率 金刚石 金刚石膜 相组成 电流密度 快速沉积

吉林大学原子与分子物理研究所 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室 大连理工大学物理系 吉林长春 吉林大学超硬材料国家重点实验室 辽宁省大连 吉林大学材料科学系 三束材料表面改性国家重点实