陈思琴 赖宗声 杜根娣 陆卫 朱自强 魏华征 朱荣锦 胡素英

启动电压 侧墙 插入损耗 反应离子刻蚀 聚酰亚胺 毫米波相移器 MEMS 传输损耗

中国科学院上海技术物理所 红外物理国家重点实验室上海 传感技术联合开放实验室上海 华东师范大学信息科学技术学院 华东师范大学信息科学技术学院上海 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 中国科学院上海技术物理所红外物理国家重点... 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感...