洪义麟 徐向东 傅绍军 陶晓明 蒋新亭 薛凤仪 廖宁放 周洪军

真空紫外 同步辐射 光刻胶灰化 离子束刻蚀 毛细管阵列 传输效率 闪耀光栅 真空差分

中国计量科学研究院 中国科学技术大学国家同步 中国科学技术大学国家同步辐射实验室 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系 中国科学技术大学国家同步辐射实验室安徽 北京理工大学信息科学技术学院光电工程系