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陈志锦图谱-自然科学领域：

相关人员

史峥 王国雄 付萍 严晓浪

研究领域

光学邻近校正 移相掩模 光刻仿真 可变阈值光刻胶模型 光刻模拟

所属机构

浙江杭州 江西抚州 辽宁鞍山 华东地质学院信息工程系 鞍山科技大学电子与信息工程学院 浙江大学超大规模集成电路设计研究所

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