徐海朋 杜记龙 张杰 狄小莲 黄松 邵建国 江美福 杨磊

氟化类金刚石薄膜 驻波效应 电容耦合等离子体 粗糙度 红外分析 微感应耦合等离子体射流源 光学带隙 类金刚石薄膜

江苏苏州 苏州大学薄膜材料实验室 苏州大学分析与测试中心 江苏省薄膜材料重点实验室 苏州大学物理科学与技术学院 苏州大学物理与科学技术学院