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蒙高庆图谱-自然科学领域：

相关人员

张茂平 吴先球 史磊 熊予莹 向鹏飞 胡社军 陈俊芳 李赟 赵文锋 符斯列 赖秀琼 樊双莉 孙辉

研究领域

ICPECVD 电子束蒸发镀膜 朗缪尔双探针 朗缪尔探针 低温沉积 薄膜 Langmuir探针 氮化铝 氮化硅 TCP 顶部感应耦合等离子体源 TCP离子源 氮化钛

所属机构

华南师范大学物理与电信工程学院 广东广州

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