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潘永刚图谱-自然科学领域：

相关人员

张晓青 张冶文 林梓辛 夏钟福 李宝清

研究领域

电荷储存稳定性 硼离子注入 内应力 化学表面修正 Si3N4SiO2 驻极体 Si3N4 驻极体薄膜 氮化硅薄膜

所属机构

同济大学波耳固体物理研究所 中国科学院上海冶金研究所

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