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透过率 射频反应共溅射 取向生长 TiO2薄膜 沉积条件 ZnO薄膜 RF反应溅射 ErAlO 高 分子束外延 反应磁控溅射 In掺杂 κC-V Er2O3 氧气退火 介质膜 结构 高k栅介质 多晶ZnO薄膜 I-V

兰州大学物理科学与技术学院 甘肃兰州 西华师范大学物理与电子信息学院 绍兴文理学院物理与电子信息系 浙江绍兴 绍兴文理学院物电系