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林梓辛图谱-自然科学领域:
相关人员
李宝清
张冶文
张晓青
潘永刚
夏钟福
研究领域
氮化硅薄膜
驻极体
硼离子注入
内应力
所属机构
中国科学院上海冶金研究所
同济大学波耳固体物理研究所
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