李英 鄢志丹 唐洁 宋丽薇 郭彤 王艳霞 李雯 赵倩云 傅星 胡晓东 任平 付星 饶志军 宋晓辉 房轩 李树民 赵景 胡小唐 王忠顺

品质因数 Abbe误差 柔性铰链 灵敏度 微悬臂梁 微梁 压电探针 原子力显微镜 表面形貌 压电微悬臂梁 振动能量采集 谐振频率 微能源 扫描隧道显微镜 激光干涉仪 杨氏模量 轻敲模式

天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 300072天津 中国空空导弹研究院