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李炳宗图谱-自然科学领域：

相关人员

姜国宝 刘平 黄维宁 厉佳 顾志光 茹国平 屈新萍 武慧珍 黄魏 蒋玉龙

研究领域

NH 共退火 CoSi2薄膜 固相反应 载流子浓度 氮化。 薄膜 超浅结 等离子体 As离子注入 载流子迁移率 微分霍耳 Pn结 TiSi2 半导体电学表征

所属机构

复旦大学微电子学系

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