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张庆全图谱-自然科学领域:
相关人员
张卫
竺士炀
王鹏飞
丁士进
王季陶
黄宜平
研究领域
多孔硅生长模型
等离子体增强化学气相淀积
稳定性
XPS
计算机模拟
FTIR
多孔硅
a-SiCOF薄膜
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