陈怀 高钟毓 陈志勇 李海霞 吴秋平 周斌 韩丰田

变结构控制 观测矩阵 有源静电轴承 滑模控制 微机械 静电悬浮 气压 力矩容量计算 鲁棒性 边界层 四轴陀螺稳定平台 分区控制 微机械陀螺 数字读出 微传感器 惯性导航 浮点数字信号处理器（DSP） 框架锁定 非线性振动 角速度 最小均方误差解调（LMSD） 坐标变换 耦合 四环空间稳定平台

清华大学精密仪器与机械学系