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张奇功图谱-自然科学领域：

相关人员

高建忠 蒋庄德 赵玉龙 杨静

研究领域

微机电系统 硅隔离衬底 高深宽比 微型杠杆机构

所属机构

710049西安 西安交通大学机械系统工程国家重点实验室

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