徐岳生 王志军 张生才 吕海涛 蒋中伟 李嘉席 孙军生 陈洪建 李养贤 檀柏梅 任丙彦 陈贵峰 向孝智 张春玲 姚素英 赵红生 张书玉 牛新环 王永捷

自支撑GaN SiO2层 掺Ge直拉硅 拟合 中子嬗变掺杂NTD) 机械强度 热施主 HVPE 寄生频率相应 压力传感器 硅锗单晶 SOI 各向异性腐蚀 本征频率相应 电流限制层 杂质氧 内吸除 清洁区 中子嬗变掺杂（NTD） 晶体生长 LED 调制带宽 退火 中子嬗变掺杂 热退火 GaN 直拉法 含氯氧化气氛 吸杂区 杂质分布

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