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张利春图谱-自然科学领域:
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研究领域
扩散势垒
功率晶体管
英文
北京大学
反应蒸发
肖特基二极管
化学系
磁控溅射
高可靠性
氮化钛
超导性质
村底负偏压溅射
背面金属化
超导材料
ZrN
金属硅化物
氧沾污
所属机构
北京大学微电子学研究所
北京电子电力新技术研究开发中心
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