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娄迪图谱-自然科学领域：

相关人员

沈亦兵 白剑 侯西云 黄腾超

研究领域

SiO2薄膜辅助 硅-玻璃热键合 反应离子束蚀刻 热诱导应力

所属机构

浙江杭州 浙江大学现代光学与仪器国家重点实验室

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