王阳元 张利春 李永康 赵忠礼 高玉芝 倪学文 张录 贾霖 周均铭 莫邦燹 关旭东 韩汝琦 周建平

高可靠性 氧沾污 磁控溅射 锗硅异质结双极晶体管 分子束外延SiGe基区 ZrN 金属硅化物 背面金属化 功率晶体管 肖特基二极管 多晶硅发射极技术 村底负偏压溅射

北京大学微电子学研究所 中国科学院 北京电子电力新技术研究开发中心 北京电力电子研究开发中心