邱德润 王和庆 程国义 丛培金 张光荣 邹永庆 陈军宁 易茂祥

灵敏度 共沉淀 非晶硅 城市煤气 钝化 非晶硅锗合金 优良材料 硅-氮键 非晶膜 氮化硅-氮化铝 旁热式 铝-氮键 衬底 直流反应溅射 薄膜 微结构 反应溅射 耐腐蚀 结合力 致密 氢化非晶硅氧合金