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增透膜
太阳电池
显微结构
掺氮类金刚石薄膜
类金刚石薄膜
PIN
a-C:H:N薄膜
光学性质
微波等离子体化学气相沉积法
粗糙表面
生长机理
微观结构
ZnO
磁控溅射
成核
碳源浓度
表面粗糙度
Alq
原子力显微镜
真空蒸发
封闭系统
太阳能电池
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所属机构
上海大学材料科学与工程学院
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