电脑体验，效果更佳

罗仲梓图谱-自然科学领域：

相关人员

于映 吴清鑫 张峰 陈光红 张春权 何熙 陈松岩 方辉

研究领域

剥离 PECVD PDMS 键合 氮化硅 残余应力 芯片实验室 氧等离子体

所属机构

福建厦门 福建福州 厦门大学化学系 厦门大学物理学系 厦门大学萨本栋微机电中心 福州大学物理与信息工程学院 福建省化学生物学重点实验室 厦门大学萨本栋微机电研究中心

标签云