电脑体验，效果更佳

牛新环图谱-自然科学领域：

相关人员

刘玉岭 田军 檀柏梅 张维连 肖文明 蒋中伟 吕海涛

研究领域

直拉法 精密加工 微电子 抛光液 分凝系数 杂质分布 固体表面 磨料 晶体生长 CMP 去除速率 硬盘基板 化学机械抛光 粗糙度 硅锗单晶 平整化

所属机构

河北工业大学信息工程学院微电子研究所 河北工业大学半导体材料研究所 河北工业大学微电子技术与材料研究所

标签云