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王照奎图谱-自然科学领域:
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林揆训
陈胜鹏
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魏俊红
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林璇英
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研究领域
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多晶硅薄膜
沉积速率
互功率谱
结构噪声
放电功率
SiCl4
所属机构
汕头大学理学院物理系
汕头大学物理系
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