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刘婵图谱-自然科学领域：

相关人员

胡光 叶芸 张凯 顾豪爽 吴雯

研究领域

湿法刻蚀 深度刻蚀 薄膜体声波谐振器 择优取向 表面粗糙度 氮化铝 空腔 微机电系统

所属机构

湖北武汉 湖北大学物理学与电子技术学院

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