苏庆平 陈文辉 李战春 许淑慧 王敬义 何笑明 陶臻宇 陶甫廷 陈正强 张巍

冷等离子体 粉粒沉降 硅-锗纯化 鞘层 硅粉粒 表面反应 等离子体纯化 阴极鞘层 平均动能 工艺参数 纯化效果 粉粒纯化 表面刻蚀 等离子体鞘层 刻蚀与纯化 离子刻蚀 粉体刻蚀 分布函数

广西柳州 湖北武汉 广西工学院电子信息与控制工程系 华中科技大学电子科学与技术系