李仲明 李维强 郭学军 郜小勇 张磊 励旭东 谷锦华 李瑞 文书堂 许颖

太阳电池 各向异性 高速生长 热化学 机械刻槽 甚高频化学汽相沉积 埋栅硅太阳电池 微晶硅薄膜 掩蔽层 分凝系数 深埋电极 气相沉积 绒面 颗粒带硅 多晶硅薄膜 太阳能电池 二氧化硅 多晶硅 化学镀 染色腐蚀

郑州大学物理工程学院 北京市太阳能研究所 郑州大学教育部材料物理重点实验室