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叶必光图谱-自然科学领域：

相关人员

郦剑 陈坚 沈复初 刘立 龚晨光

研究领域

减压 SiOx膜层 化学气相沉积 附着性 硅烷 硅外延

所属机构

浙江杭州 浙江大学材料科学与工程系 浙江大学材料系

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