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吴清鑫图谱-自然科学领域：

相关人员

罗仲梓 杨渭2 于映 张春权 陈光红

研究领域

残余应力 氮化硅 聚酰亚胺 PECVD

所属机构

福建厦门 福州大学物理与信息工程学院 厦门大学萨本栋微机电研究中心 福建福州

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