罗仲梓 王素彬 颜峻 杨渭2 吴清鑫 陈跃 许淡清 张春权 陈光红

绝缘 聚酰亚胺 蒙特卡罗方法 LED MEMS开关 平面干涉法 PECVD 薄膜 耐压 双层薄膜 氮化硅 光源 模拟 内应力 残余应力

福州大学电子科学与应用物理系 福建福州 福州大学物理与信息工程学院 福州大学信息科学与技术学院 福建厦门 厦门大学萨本栋微机电研究中心