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于广图谱-自然科学领域：

相关人员

刘玉岭 张明路 康凯 王新

研究领域

化学机械抛光 ULSI 抛光液 安全系统 智能化住宅 铜 PIC微控制器 CAN总线

所属机构

河北工业大学 河北工业大学图书馆 河北工业大学微电子所 河北工业大学机械学院

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