电脑体验，效果更佳

丛志先图谱-自然科学领域：

相关人员

刘明登 金希卓

研究领域

化学气相淀积（CVD） 质量输运模型 多参数模型 质量输运 化学气相淀积CVD) 减压硅外延 表面反应模型 有限元法

所属机构

吉林大学数学系

标签云