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侯西云图谱-自然科学领域:
相关人员
周光亚
白剑
沈亦兵
娄迪
黄腾超
杨国光
研究领域
掩模制作
曝光光强
光刻
硼扩散
光学
硅-玻璃热键合
反应离子束蚀刻
SiO2薄膜辅助
所属机构
浙江杭州
浙江大学现代光学与仪器国家重点实验室
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