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评述 氮化镓薄膜 表征 掺杂 激光分子束外延 制备 正极 薄膜 X-射线衍射 进展 漏电流 性能 薄膜锂电池 紫光发射 AlN薄膜 掺杂比 声子 工艺参数 VO2 Bi05（Na07K01Li02）05TiO3 气氛氧压 BaZrO3 有机薄膜 熔蚀 电化学性质 碳化硅缓冲层 锂离子电池 A1N薄膜 ZnO膜 缓冲层