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非平衡磁控溅射图谱-材料领域：

研究人员

李玉庆 聂朝胤 白力静 陈俊英 邓新绿 冷永祥 杨文茂 侯惠君

相关术语

性能 TiO2薄膜 电阻率 Ti掺杂类金刚石薄膜 显微硬度 等离子体源 形貌 XRD

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