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超高真空化学气相沉积图谱-材料领域：

研究人员

叶志镇 崔继锋 吴贵斌 汪雷 赵炳辉 马德群 王亚东 黄靖云

相关术语

硅外延 实时B掺杂 表面偏析 锗硅合金 表面耗尽

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