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超大规模集成电路图谱-材料领域：

研究人员

张楷亮 阙端麟 洪啸吟 沈德忠 檀柏梅 刘玉岭 张建新 杨德仁

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化学机械抛光 硅溶胶 纳米级 体积电阻率 电子封装材料 模塑料 微米级 单晶硅

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