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高速钢 性能特点 低价氧化硼 陶瓷 制备方法 碳基材料 β－C3N4 CN膜 微波等离子体化学气相沉积 硼基材料 薄膜 氮化碳 纳米结晶复合材料 碳氮化硼 B-C-N系 保护涂层 氮碳共价化合物 硬质合金