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先驱体 聚碳硅烷 小角X射线散射 聚集体 高温性能 肼 环硅氧烷 微观结构 二氧二甲基硅烷 可纺性 粘接 氧化层 显微硬度 动力学 硅氢化反应 碳化硅 数值仿真 复合陶瓷 裂解缺陷 氮化硼 不锈钢涂层 陶瓷化 N2气氛 NH3气氛 孔 陶瓷基复合材料 制备 先驱体转化 回收利用 气相色谱

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