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性能 氧化物 PbTiO3薄膜 三维Monte Carlo模型 形貌 粗糙度 电光效应 电学特性 计算机模拟 生长方式 模型 结构 磁控溅射 扩散势垒 双离子束溅射淀积 异质外延模拟 温度场 热丝化学气相沉积 DLC膜 材料科学基础学科 Monte Carlo模拟 Gd掺杂CeO2电解质薄膜 金刚石 铁电薄膜 反应磁控溅射