马青松 季振国 周玉 葛曼珍 孟祥森 杨辉 比尔·帕格曼 温广武 雷廷权 张俊宝 袁骏 黄和平 魏文霖

制备 物理气相沉积 薄膜 液相反应 杂质 化学气相沉积 固相反应 性能 高温氮化 有机先驱体 动力学 氢 活化能 氧化物添加剂