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氮化硅薄膜图谱-材料领域：

研究人员

汪新颜 金承钰 席珍强 金达莱 宋文燕 赵铁成 苏勋家 黄莉萍

相关术语

RF-PECVD 钢衬底 性能 蓝宝石 沉积速率 表面形貌 磁控反应溅射 LPCVD

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