宋建全 郭忠诚 陈家宜 席珍强 王军丽 林揆训 郑修麟 杜平凡 吴萍 李国栋 郑彬娜 王勇 谢广文 金承钰 陈招科 刘学建 黄智勇 崔虎 程晓农 张俊计 邱桂明 赫晓东 余云鹏 熊翔 曾旭 耿东生 刘红飞 黄莉萍 单英春 赵康

EB-PVD KMC 介电常数 光敏性 天然金刚石 靶中毒 原子百分比 SiCl4H2等离子体 介电损耗 微观组织 结晶度 Ni-Cr合金薄膜 微观生长形貌 表面形貌 磁控反应溅射 显微硬度 加热Langmuir探针 PECVD RF-PECVD 日本工业 红外特性 TiO2薄膜 氧控制 反应溅射 分维 化学气相渗透 LPCVD Al2O3薄膜 RF磁控溅射 钢衬底