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沉积速率图谱-材料领域：

研究人员

宋建全 郭忠诚 陈家宜 席珍强 王军丽 林揆训 郑修麟 杜平凡

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EB-PVD KMC 介电常数 光敏性 天然金刚石 靶中毒 原子百分比 SiCl4H2等离子体

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