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微制造图谱-材料领域：

研究人员

高琛 江刺正喜 鲍骏 陈立峰 杉木真也 颜永年 黄孙祥 田中秀治

相关术语

微型器件 碳化硅 压电 陶瓷转子 陶瓷MEMS 氮化硅 光力 堆积

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