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射频反应磁控溅射图谱-材料领域：

研究人员

张宏森 丁明惠 王颖 黄佳木 张丽丽 董思勤 覃丽禄

相关术语

氮化锆薄膜 离子导体 扩散阻挡层 Cu互连 Zr-N薄膜

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