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绝缘膜图谱-材料领域：

研究人员

陈叔鑫 黄勤 赵凤云 郑茳 张佐兰 林锡刚 魏同立 缪竞威

相关术语

PECVD 软磁材料 SiOxNy 低温等离子复合技术 C-V特性 LB膜 Al2O3膜

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