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Raman光谱 电弧离子镀 超硬复合薄膜 轴承钢 滚动接触疲劳寿命 硬度 射频等离子增强化学气相沉积 性能 细菌粘附 激光退火 缺陷 脉冲偏压 划痕法 热稳定性 摩擦磨损特性 透过率 结构 新加坡 结构与特性 材料表面 厚度 慢正电子束 辐照 纳米硬度 发展方向 IBAD 过渡层 SP3C-H及SP3C-C键 阴极靶 表面改性