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离子束辅助沉积图谱-材料领域：

研究人员

江炳尧 范玉殿 傅永庆 王曦 冯涛 王立平 方仁昌 梁爱民

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摩擦学性能 TiN 亚稳晶相 感应耦合等离子体 抗蚀性 薄膜 钼栅极 择优取向

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