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离子束溅射图谱-材料领域：

研究人员

刘茜 邓荣斌 孔令德 吴庆生 郭杏元 诸葛兰剑 王茺 冯林永

相关术语

顺序沉积 FeAlN薄膜 Ar能量 束流 磁性能 热稳定性 Ge薄膜 扩散

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